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MAIA3 Model 2016超高分辨率场发射扫描电镜

MAIA3 model 2016产品是一款具有超高表面灵敏度的高分辨扫描电子显微镜,在不同加速电压下均有着出色的成像能力。MAIA3 model 2016的电子束减速技术(BDT)能在低至50eV的电压下也有极好的性能,尤其对电子束敏感的半导体器件样品以及纳米材料等都具有优异的表面灵敏度及高空间分辨率。全新的MAIA3也非常适合研究不导电试样如原始状态的生物样品。


TriglavTM—新开发的超高分辨率电子光学镜筒并配备TriLensTM物镜及先进的探测系统

TriLensTM三物镜系统:超高分辨率物镜(60度浸没式物镜)、高分辨无漏磁分析物镜、超大视场观察的中间镜。

超高分辨率0.7@15keV 1.0nm@1keV

低电压和超低电压成像


    
        LE-BSE探测器在1keV锡球的成像               LE-BSE探测器在500eV锡球的成像
当电子束能量降低的时候,锡球表面细小的氧化层才能够被观察到

高束流及短的分析工作距离

电子束实时追踪结束

全新的EquiPower™技术进一步提高电子束的稳定性

新的肖特基场发射电子枪能使电子束流高达400nA并能实现电子束能量的快速改变

通过扩展样品室和专用支架能达到12"晶圆的SEM观察

专利的TriBETM技术具有三个BSE探测器,可以选择不同角度的信号进行采集。

扩展的低真空模式样品室气压能达到500Pa,可用于不导电样品的成像

 
TriglayTM电子光学镜筒

TriglayTM电子光学镜筒包含TriLensTM透镜系统,TriSETM+TriBETM探测器系统和EquiPowerTM管理系统。
 
TriLensTM物镜系统:(a)中间镜 (b)分析物镜 (c)超高分辨物镜
TriLensTM成像模式:超高分辨率模式、分析模式、景深模式、大视野模式
 
TriLensTM透镜系统中的电子束无交叉技术保证了超低加速电压下的分辨率,0.7nm(加速电压15kV),1nm(着陆电压1 kV),1.2nm(着陆电压200V)。
TriSETM+TriBETM,共可获得6种图像,包含不同的信息,可根据实际应用需要灵活选择。

应用

材料科学和地质


In-Beam SE探测器获得的硅衬底上的有空穴的纳米晶体金刚石图像
 
Mid-Angle BSE探测器在1kV下的银纳米颗粒包覆碳纤维及的成像
 
Mid-Angle BSE探测器在1kV下Pd颗粒及碳基体的成像

生命科学

Mid-Angle BSE探测器在4kV下染色小鼠肝脏的成像

光电联用功能,幽门螺杆菌在胃组织中的定位
 
LE-BSE探测器在2keV下对固定和嵌入在环氧树脂内的染色小鼠脑组织的成像

半导体,光电和太阳能电池

光刻

 
 

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