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VEGA钨灯丝扫描电子显微镜

VEGA第四代钨灯丝扫描电子显微镜,采用全新的 Essence™ 电镜操控软件系统,集成了Essence™ EDS 分析平台,将扫描形貌图像与元素实时分析集成于同一个扫描窗口中,大大简化了样品表面形貌的采集及所含元素的数据分析工作

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介绍

VEGA第四代钨灯丝扫描电子显微镜,采用全新的 Essence™ 电镜操控软件系统,集成了Essence™ EDS 分析平台,将扫描形貌图像与元素实时分析集成于同一个扫描窗口中,大大简化了样品表面形貌的采集及所含元素的数据分析工作,使得全新的第四代VEGA SEM成为在样品检测及研究方面的更高效的分析手段。

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大视野光路(Wide Field Optics™)

最小放大倍率可达2倍,无需导航相机即可轻松实现样品导航。

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n大视野无畸变的图像实时观测,可连续放大感兴趣的区域,无需光学导航相机。

n与预倾斜样品台配合使用,对于需要倾斜分析的样品,支持扫描倾斜校正,从而实现更精确的导航


实时电子束追踪技术(In Flight Beam Tracing™)

n无需更换光阑调节电子束强度,电子束强度连续可调;

n一键即可达到最佳分辨率的束流

n 中间镜设计(Intermediate LensTM


 Single VacTM 模式

专为观测不导电样品和电子束敏感的样品设计

nVEGA标配全新的 SingleVac™ 模式,出厂预设了 SingleVac™ 的真空值,无需表面导电涂层处理,可直接观察不导电样品

nUniVac™ 模式(选配)实现压力的持续可调,最高可变压力为 500 Pa

n真空缓冲节能单元(Vacuum Buffer)(选配),可显著缩短机械泵的运行时间

n4Q BSE探测器可从不同角度采集信号




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注:VEGA Compact不具备Single VacTM 模式


完全集成的Essence™ EDS 分析平台

Essence™ 电镜操控软件的单一窗口中即可实现SEM成像和元素成分分析

n无需第三方附件及链接

n无需进行SEM与EDS图像的位置,标尺及亮度对比度的调节

n无需二次采集图像

nSEM 图像没有边缘畸变

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Essence™ 3D防碰撞模块


n3D图像直观显示探测器及样品台的位置

n快速搜索

n操作步骤撤销,提升操作效率或防止误操作



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应用案例

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